手套箱專用等離子清洗機
產(chǎn)品參數(shù)：
手套箱專用等離子清洗設(shè)備，優(yōu)化的腔體結(jié)構(gòu)及合理的結(jié)構(gòu)設(shè)計更適合手套箱內(nèi)使用。安裝簡單方便，性能穩(wěn)定，實用性強，容易維護。
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手套箱專用等離子清洗設(shè)備，優(yōu)化的腔體結(jié)構(gòu)及合理的結(jié)構(gòu)設(shè)計更適合手套箱內(nèi)使用。安裝簡單方便，性能穩(wěn)定，實用性強，容易維護。
應(yīng)用領(lǐng)域：
等離子清洗設(shè)備廣泛應(yīng)用于材料學(xué)、微電子、半導(dǎo)體、線路板、LED、微流控、光電太陽能、生物醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域，主要用于材料表面進行清洗、改性、刻蝕等目的。
技術(shù)參數(shù)
型號 | 3系列 | 3Plus |
艙體尺寸 | D200XΦ155mm | D200XΦ155mm |
艙體容積 | 3.8L | 3.8L |
艙體材質(zhì) | 不銹鋼 | 不銹鋼 |
射頻電源 | 40KHz | 13.56MHz |
匹配器 | 自動匹配 | 自動匹配 |
激發(fā)方式 | 電容式 | 電容式 |
射頻功率 | 10-500W可調(diào) | 10-150W可調(diào) |
氣體控制 | 雙浮子流量計（標(biāo)配） | |
有效處理尺寸 | L200xW155mm | |
時間設(shè)定 | 9999秒 | |
真空泵 | 抽速4m3/h | |
氣體穩(wěn)定時間 | 1分鐘 | |
真空度 | 100pa以內(nèi) | |
電源 | AC220V 50/60Hz 666/316W | |
艙體尺寸 | L235xW345xH245mm | |
控制尺寸 | L330xW490xH190mm | |
包裝尺寸 | L450xW640xH690mm | |
整機重量 | 25kg | |
